硅烷_电子气体_产品中心_广东科特气体有限公司

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硅烷

硅烷是一种无色，无腐蚀性，在空气中自燃的气体

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产品详情

纯度 , %	99.999	99.9999
氢气	≤40.0 ppmv	≤20.0 ppmv
氧气+氩气	≤1.0 ppmv	≤0.05 ppmv
氮气	≤1.0 ppmv	≤0.5 ppmv
一氧化碳	≤1.0 ppmv	≤0.05 ppmv
二氧化碳	≤1.0 ppmv	≤0.05 ppmv
甲烷	≤1.0 ppmv	≤0.05 ppmv
总烃	≤50.0 ppmv	≤0.1 ppmv
氯硅烷	≤0.2 ppmv	≤0.1 ppmv
乙硅烷	≤200.0 ppmv	≤0.3 ppmv
水分	≤1.0 ppmv	≤0.5 ppmv