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六氟乙烷

六氟乙烷是一种无色，无味，不可燃的液化气体

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六氟乙烷

纯度 , %	99.9	99.999
氢气	≤50.0 ppmv	≤0.5 ppmv
氧气+氩气	≤80.0 ppmv	≤1.0 ppmv
氮气	≤300.0 ppmv	≤5.0 ppmv
一氧化碳	≤30.0 ppmv	≤0.5 ppmv
二氧化碳	≤50.0 ppmv	≤0.5 ppmv
甲烷	≤30.0 ppmv	≤1.0 ppmv
其他卤代烃	≤400.0 ppmv	≤5.0 ppmv
水分	≤10.0 ppmv	≤2.0 ppmv
氢氟酸	≤1.0 ppmv	≤0.1 ppmv