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三氟甲烷
三氟甲烷是一种无色,无味,不可燃的液化气体
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产品详情
纯度 , %
99.9
99.999
氧气+氩气
≤80.0 ppmv
≤
1.0 ppmv
氮气
≤
300.0 ppmv
≤
3.0 ppmv
一氧化碳
≤
30.0 ppmv
≤
1.0 ppmv
二氧化碳
≤
50.0 ppmv
≤
1.0 ppmv
其他有机物
≤
400.0 ppmv
≤
3.0 ppmv
水分
≤
10.0 ppmv
≤
1.0 ppmv
氢氟酸
≤
1.0 ppmv
≤
0.1 ppmv
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