四氟化碳_电子气体_产品中心_广东科特气体有限公司

PRODUCT

产品中心

首页 > 产品中心 > 电子气体

四氟化碳

四氟化碳是一种无色，轻微醚样气味，不可燃的液化气体

说明书下载

产品详情

四氟化碳

纯度 , %	99.99	99.999
氧气+氩气	≤100.0 ppmv	≤1.0 ppmv
氮气	≤400.0 ppmv	≤4.0 ppmv
一氧化碳	≤50.0 ppmv	≤0.1 ppmv
二氧化碳	≤80.0 ppmv	≤1.0 ppmv
六氟化硫	≤15.0 ppmv	≤5.0 ppmv
其他碳氢	≤100.0 ppmv	≤2.0 ppmv
水分	≤10.0 ppmv	≤2.0 ppmv
氢氟酸	≤1.0 ppmv	≤0.1 ppmv